等离子纳米抛光过程中影响击穿电压的主要因素有哪些？

来源：时间：：2022-04-28 09:04:14

中唯精工在研发等离子纳米抛光过程中发现，从帕邢定律可以看出影响击穿电压的主要因素如下：

（1）气体压力和放电间距——根据帕邢定律，其他条件不变时p和l对击穿电压的变化起着决定性的作用。

（2）气体的种类和成分——帕邢公式中的γ、A、B都与气体本身的性质有关，所以气体的种类和成分会影响击穿电压。

（3）电场分布——电场分布会影响和γ以及电子与正离子的运动速度和轨迹。

（4）电极的材料和表面状态——电极的材料和表面状态影响γ电离过程的二次电子发射，电极的表面结构还影响电场分布。

（5）外界电离源的影响——显然外界电离源的存在也会对击穿电压产生影响。