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PLNP等离子纳米抛光放电机理
来源: 时间::2022-04-27 09:52:46

PLNP等离子抛光的基本模型如图2-1,抛光工件1作为加工阳极,抛光液3和抛光槽4作为加工阴极。在抛光过程中保持合适的电压值(250~400V),此时抛光工件1表面可形成完全隔离抛光液3和抛光工件1的气层2,气层2被击穿时放电通道会更多地在工件表面微观凸起的位置形成,从而使凸起位置的材料去除量大于其他位置,实现抛光。

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