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PLNP技术抛光机理
来源:中唯精工 | 发布日期: 2022-04-11

在PLNP等离子纳米抛光中,样件与直流电源的正极相连,抛光液和抛光槽与负极相连。抛光开始后样件逐渐潜入抛光液中,首先使抛光液电解,产生少量气体,抛光液和样件的直接接触会导致瞬时的短路,由于固液交界面处的电子及电荷转移最为困难,所以固液交界面处的电阻更大,成为主要发热源,放出大量的热,其中一部分转化为样件的升温,另一部分使抛光液中的水气化,形成气层将抛光液和样件表面暂时隔开,从而结束整个系统的短路状态,气层形成以后,在直流高压的作用下,被放电击穿,使一部分中性粒子电离,气层进入等离子态,在电场的作用下,电子经过气层,高速冲向样件表面,在运动过程中与气层中的中性粒子碰撞,导致电子雪崩式的增加,最终形成放电通道,电子高速轰击样件表面,使样件表面获得大量的能量而熔化,从而实现对样件表面材料的去除。

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